表面預(yù)處理及防蝕層對(duì)金屬蝕刻的影響

 1.表面預(yù)處理對(duì)金屬蝕刻的影響

  基板表面經(jīng)清潔處理后再進(jìn)行涂覆感光膠之前預(yù)先進(jìn)行必要的預(yù)處理，一則會(huì)增加對(duì)感光膠的粘附力，二則明顯改善層下蝕刻的精度，預(yù)處理的方法主要包括：氧化，還原、更新金屬表面、表面微粗糙化等，鎳、鎂、鋅、鋼通常所采用的轉(zhuǎn)化層，是通過(guò)浸入H₃PO₄為基的溶液，鋁所使用的是鉻酸鹽轉(zhuǎn)化膜或直接進(jìn)行陽(yáng)極處理，正確選擇轉(zhuǎn)化層對(duì)減小層下切割有很大的意義，轉(zhuǎn)化層使金屬基體與表面的蝕刻速度出現(xiàn)了差異，有轉(zhuǎn)化層的表面，比金屬本身蝕刻速度要慢一些，同時(shí)轉(zhuǎn)化層提高了感光膠的粘附力，以上兩個(gè)原因，都使蝕刻系數(shù)減小。從而使對(duì)金屬加工的尺寸控制更加有效，合適的轉(zhuǎn)化層能使蝕刻系數(shù)減少約為2/3.

  2.防蝕層對(duì)蝕刻的影響

  防蝕層質(zhì)量不管是對(duì)蝕刻加工精度和蝕刻加工圖文表面質(zhì)量，都會(huì)產(chǎn)生明顯影響防蝕層質(zhì)量不良對(duì)蝕刻影響主要包括以下兩個(gè)方面：

  （1）防蝕層和基體金屬的結(jié)合力：如果防蝕層和基體金屬結(jié)合力不好，在蝕刻過(guò)程中就會(huì)造成防蝕層脫落，使蝕刻圖文變形。影響防蝕層結(jié)合力的因素主要有三個(gè)方面①金屬材料表面預(yù)處理質(zhì)量：只有符合某一金屬材料所要求的預(yù)處理效果才能保證防蝕材料能與金屬表面保持優(yōu)良結(jié)合②防蝕材料的質(zhì)量③防蝕層制作質(zhì)量。只有這三個(gè)方面的質(zhì)量都達(dá)到盡可能完美的情況下，才能寄希望于防蝕層與金屬表面的可靠結(jié)合。

（2）防蝕層材料的抗蝕能力：在進(jìn)行金屬蝕刻時(shí)，所采用的都是一些強(qiáng)酸強(qiáng)堿，他們都具有很強(qiáng)的腐蝕性，在對(duì)金屬材料進(jìn)行腐蝕時(shí)，也會(huì)對(duì)防蝕材料造成一定的破壞，所以在選擇防蝕材料時(shí)要經(jīng)過(guò)耐心的反復(fù)試驗(yàn)，只有當(dāng)確定某一防蝕材料在確定的腐蝕劑濃度，以及蝕刻條件變化范圍內(nèi)都能保證不脫落、不變形、不起層的情況下，才可以用于大批量生產(chǎn)中。